氣體質量流量計用于精密地測量或控制氣體的質量流量，氣體質量流量計由傳感器、分流器、主通道及電路板等部分組成，用于測量流量；氣體質量流量計除了具有與MFM類似的各部件之外，還有一個控制閥? ? ? 門及PID控制電路，它不但能測量流量，還能控制流量。
氣體質量流量計的氣體通道的材料為316L不銹鋼，密封材料可選橡膠或金屬材料等。氣體質量流量計原則上可以使用任何氣體，包括腐蝕性氣體，不過要注意恰當選擇產品型號和密封材料。模擬流量計產品的流? ? ? 量輸入輸出信號是0~+5V電壓信號，個別產品是4~20mA電流信號，對應于流量的0~滿量程。數字模擬兼容的流量計產品的流量輸入輸出信號，除了有0~+5V模擬信號外，還具有RS232 / RS485計算機串行通? ? ? ?訊信號。氣體質量流量計產品通常采用現場總線通訊方式。
氣體質量流量計特點：
1、氣體質量流量計采用穩定性極高的＊＊技術鉑RTD傳感器；
2、氣體質量流量計采用享有專有技術”平衡結構封裝”,介質溫度自補償；
3、專有算法,氣體質量流量計可實現高線性、高重復性、高精度；
4、量程比寬100:1,氣體質量流量計可據用戶要求可拓展；
5、氣體質量流量計可實現大管徑小流量測量，氣體質量流量計＊小流量可測低至零,分辨率0.001m/s；
6、無可動部件、振動影響可忽略；
氣體質量流量計的技術優勢：
1、氣體質量流量計專有流量數據模型算法；模糊理論控制溫度、濕度算法；
2、高性能智能微處理器及模數、數模轉換芯片；
3、寬量程比100：1；大口徑，低流速，壓損可忽略；
4、直接測量質量流量，無須溫壓補償；
5、低流速測量非常靈敏；
6、氣體質量流量計設計、選型方便，安裝、使用簡便；
7、氣體質量流量計適合各類單一或混合氣體流量測量。
